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15720490226半導體芯片廢氣煙塵凈化方案
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物，分離和處理難度比較大。
廢氣特點：半導體芯片生產線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點。
某某電子廠車間生產的3條線產生的廢氣來源，處理風量在30000，每條生產線都安裝了吸風罩，采用噴淋塔吸收后進入主管道到達風機排放，該項目從制作到安裝總共花了25天周期，驗收符合排放標準。
半導體企業車間會產生酸氣，那么半導體酸氣處理方法就采用堿液體噴淋法，又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。
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