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電子芯片廢氣治理方案案例

發布日期:2022-10-10瀏覽次數:8127

  電子芯片廢氣治理方案案例


  電子廠廢氣包括二氧化硫,三甲胺,NOx,氮氫化合物,苯二甲酸二辛酯等。 而產生這些廢氣的主要是產生于芯片或線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程中。


  電子制造業排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。


  對電子行業廢氣處理系統的設計選型,嚴格按照或地方的大氣污染物治理達標排放標準,以及企業廢氣參數(廢氣成分、濃度和風量數據等)設計廢氣處理方案。


  針對電子行業VOCs排放特點采用相應末端治理技術,主要還是活性炭吸附法。吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,吸附劑選擇性高,活性炭屬非極性吸附劑,對非極性化合物有較強的吸附能力,一般可凈化低濃度VOCs,凈化效率可達到90%.


  電子廠廢氣治理工藝:

  活性炭吸附濃縮催化燃燒:

  通過80℃的熱空氣對吸附在活性炭表面的高濃度的有機廢氣進行高溫脫附,把脫附出來的高濃度的有機廢氣送達催化燃燒氧化爐進行285℃-400℃之間的高溫氧化形成二氧化碳和水達標排放。


  為什么選用該廢氣處理設備?

  催化燃燒設備凈化效率95%以上,適用于大風量,低濃度有機廢氣。加熱溫度280度,活性炭可重復利用,投入成本低,耗能低。


電子廠廢氣處理解決方案電子生產車間廢氣凈化達標治理方案



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