所謂低溫等離子體的狀態就是在等離子體中原子、 分子、電子、離子的狀態。而這些狀態是通過不同的等離子體診斷方法而得到的，這些狀態是與不同類型的等離子體裝置，放電條件，氣壓條件等有關。而等離子體是低溫等離子凈化器中的主要配件，了解低溫等離子體狀態就成為必要的工序，我公司對于獲取低溫等離子體的診斷方法如下：
　　1.光譜診斷。光譜診斷主要是發射光譜。發射光譜法通過對等離體本身所發出的光進行分光分析，來測定等離子體中存在的分子、原子的激發和電狀態。根據測得的發光強度可確定活性粒子的濃度并計算出電子溫度等。發射光譜需要分子獲得較高的能量。
　　2.質譜法。質譜法可對等離子體的組成粒子，特別是離了進行直接的測定。一般是在線測量，即通過差動排氣法將等防體的組成粒子，特別是離子進行直接的測定，以鑒定等離子體中的粒子種類。如果再與能量分析儀組合，則可測量這些粒 子的能量。
　　3.靜電探針。這種方法是由Longmuir發明的探測等離子體特性的一種方法。由于簡單且用途多，一直沿用至今。對直流輝光放電，等離子體的電位有確定值，可用單探針法，對高頻放電，微波放電等，則用單探針結合補償探針或雙探針法。通過測量探針特性，即測量液入探針的電流和加到探針上的偏壓之間的關系，來推算同等離子體中的電子溫度，離子密度及等離體電勢。
　　4.其它。一些新的方法如電子順磁共振（EPR），激光誘導熒光法(LIF)，來測等離子體中原子、分子的電子態，微波干涉測量電子密度等。
通常要采用多種方法來互相驗證，才能確定等離子體狀態。
　　低溫等離子體的狀態不同所采用的廢氣凈化方法就不同，效果也自然不同，河北廣綠環保設備有限公司司專業針對廢氣處理設備中采用等離子體的工程進行研究，小具成效，相關有機廢氣處理工程可聯系我們。1572049，0226

本文：低溫等離子體狀態信息獲取的幾種基本的診斷方法